熱式質(zhì)量流量計發(fā)展 ：
20世紀60年代，美國首先為宇航業(yè)所需氣體質(zhì)量控制開發(fā)出熱式質(zhì)量流量計正式產(chǎn)品，其后應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)的制造設(shè)備上，得到很大發(fā)展，后又擴展到其他工業(yè)應(yīng)用領(lǐng)域，近年來再工業(yè)應(yīng)用上從測量氣體擴大到測量液體。
由于氣體熱式質(zhì)量流量計日趨成熟且應(yīng)用面不斷拓寬，國際標準化組織(1SO)已制定有關(guān)"規(guī)范、檢驗、安裝、運行和校準"氣體熱式質(zhì)量流量計的國際標準IS014511：2001。
熱式質(zhì)量流量計：利用流動中的流體與熱源（流體中加熱的物體或測量管外加熱體）之間熱量交換關(guān)系來測量流量的儀表。
基本原理：利用外熱源對被測流體加熱，測量因流體流動造成的溫度場變化來反映質(zhì)顯流量。
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