VF10熱式氣體質量流量計傳感器部分由兩個基準級鉑電阻溫度傳感器組成，采用橋式環路，一個傳感器測量流體溫度，另一個傳感器為加熱元件，維持高于流體溫度的恒溫差，即氣體流過加熱元件時將熱量帶走，帶走的熱量與氣體的流速和氣體的密度成正比。為了保持兩個溫度傳感器的固定溫差需要電路對加熱元件提供更多的功率，電路中輸出功率的大小與流體的質量有關，由此測量流量。
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